微电子专业实验对实验环境要求高，设备昂贵，工艺过程涉及强酸、强碱、多种危险性气体和材料，真实实验设施投入巨大。因此，为了拓展专业实践领域、丰富教学内容，提升学生的综合素质和技能，西安电子科技大学开设并实施了氮化镓发光二

极管工艺制造与光电特性虚拟仿真实验。

    本实验项目取材于西安电子科技大学自主科研成果，目前面向全校学生开放，同时对兄弟院校相关专业开放。项目建设依托西安电子科技大学国家级集成电路设计与制造虚拟仿真实验教学中心、微电子学与固体电子学特色优势学科，以提高人才培养

综合素质为核心，充分把握学生实验学习特点和规律，采用课堂精讲核心知识、虛拟仿真实验案例讲授、课后在线虚拟实践模块的多元教学模式，努力构建优势资源融合、教学科研协同人才培养实验教学新机制。本项目以西安电子科技大学在宽禁带半导体
材料方面的科研成果为依托，以GaN发光二极管工艺制备和器件研究为具体落脚点，涉及半导体材料的基础性质，材料生长、掺杂、接触等基本工艺过程，以及器件的电学与光学性能表征等知识点，融合了西安电子科技大学在此方向2014年所获得的陕西省科学技术- - 等奖《氮化镓基紫外LED技术》以及2015年获得的国家科学技术进步二等奖《氮化镓基紫外与深紫外LED关键技术》等众多科研成果，涉及了《半导体物理》、《半导体器件物理》，《化合物半导体器件物理》、《集成电路制造技术》等微
电子专业主要核心课程。本实验教学项目有效整合了各实验教学资源，构建技术先进、资源优化、开放共享、运行高效、虚实结合的实验教学平台和贴近实际、高度仿真的虚拟实验环境，为学生自主学习、自主实验和创新时间创造了条件。此项目紧密结合
教学和科研，将科研理念、文化、成果以及方法融入实验教学，提高学生的科学研究和科技创新能力。